光譜分析儀的內(nèi)標(biāo)是用于動態(tài)校正樣品和標(biāo)準(zhǔn)之間物理差異，所有樣品都跟同一元素進行比對而進行校正的，根據(jù)內(nèi)標(biāo)元素信號的降低或者增強來對樣品進行校正。內(nèi)標(biāo)抗干擾能力強，并且能解決物理方面造成的差異。

由于激發(fā)源條件變化等原因，譜線絕對強度再現(xiàn)性較差,所以在實際光譜分析時一般采用相對強度,選用一條比較譜線,用分析線與比較線強度比進行光譜定量分析，所采用的比較線稱為內(nèi)標(biāo)線或參比線，提供這種比較線的元素稱為內(nèi)標(biāo)元素。

一般以被測樣品基體作為內(nèi)標(biāo)元素,以內(nèi)標(biāo)元素的一條或幾條譜線作為內(nèi)標(biāo)線，如分析鋼鐵時以鐵為內(nèi)標(biāo)元素。以CCD為檢測器的儀器則沒有出射狹縫，其波長示值誤差就是實際的譜線波長誤差，其檢定方法與ICP光譜類似。譜線標(biāo)準(zhǔn)值一般軟件里有注明，也可查詢美國國家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院(NIST)標(biāo)準(zhǔn)光譜譜線庫。